原理:
物镜将样品发出的散射、反射、荧光光线校正为平行光束,后端搭配管镜聚焦成像;
仅采集可远距离传播的传播波,无法捕获紧贴样品表面、指数衰减的倏逝波,因此存在衍射分辨率上限;
优势:可在物镜与样品间插入偏振片、分光镜、相位环等光学附件,不产生像差畸变,适配多光路精密检测系统。
应用场景:
工业检测领域:用于半导体晶圆、厚层PCB板、大尺寸工件的表面缺陷观测,长工作距离可避免镜头触碰工件造成损伤。
生物科研领域:适配培养皿内活体细胞的长时间无接触观测,配合荧光模块可实现多波长消像散成像,保障细胞活性不受镜头干扰。
特殊工况观测:可在高温炉腔、真空腔等封闭空间外,隔着透明窗口完成内部样品的显微观测,无需打开腔体破坏实验环境。
远场显微物镜的使用注意事项:
清洁维护:使用专用镜头纸和光学清洁剂,避免划伤镀膜
避免碰撞:高倍物镜工作距离短,操作时需小心避免物镜与样品碰撞
环境控制:温度变化会引起焦距漂移,准确测量需在恒温环境下进行
浸没介质:油浸物镜需使用匹配折射率的浸油,水浸物镜使用去离子水
存储:长期不用时放入干燥箱,避免镜片发霉
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