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优质基材

优质基材

  • 产品型号:
  • 更新时间:2023-12-21
  • 产品介绍:腔衰荡时间光谱仪或EUV镜的特殊激光应用的优质基材的特点是:
    Ø准确的几何形状:有关直径,厚度,折痕或曲率半径等几何特性的公差,请参见我们目录
    Ø表面形状公差
    Ø抛光表面上的缺陷数量
  • 厂商性质:代理商
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产品介绍

品牌其他品牌价格区间面议
组件类别光学元件应用领域医疗卫生,环保,化工,电子,综合

优质基材

腔衰荡时间光谱仪或EUV镜的特殊激光应用的优质基材的特点是:

Ø准确的几何形状:有关直径,厚度,折痕或曲率半径等几何特性的公差,请参见我们目录的第12页

Ø表面粗糙度

Ø表面形状公差

Ø抛光表面上的缺陷数量

LAYERTEC针对所有这些参数优化了抛光程序。 在下文中,我们就会展示使用熔融二氧化硅和氟化钙可获得的出色结果。

规格

表面粗糙度

ØRMS-熔融石英和氟化钙的平面基板的粗糙度<1.5Å

Ø在光滑弯曲的球形熔融石英表面上得到相似的结果(取决于直径和曲率半径的比率)

Ø即使在紫外线范围内,基材的散射损耗也非常低:

ØTS = 2 x 10 – 5 at 248nm (total backscattering)

ØTS = 5.6 x 10 – 4 (total backscattering) and 7.5 x 10 – 4 (forward scattering) at 193 nm

Ø即使在DUV / VUV波长范围内也适用于低损耗光学元件


高质量抛光熔融石英基板的功率谱密度(PSD)曲线(在FhG IOF Jena上执行的测量)


高质量抛光CaF2基板(在FhG IOF Jena执行)的3D AFM测量,均方根粗糙度0.12nm

表面形状公差

Fused silica

Plane

λ/20 (633nm) for diameters of 6.35mm … 101.6 mm

Spherical

λ/10 (633nm) for diameters of 6.35mm … 38.1mm

CaF2

Plane

λ/10 (633nm) for diameters of 12.7mm … 25.4 mm

λ/4 (633nm) for diameters of 38.1mm … 50.8 mm

Spherical

λ/4 (633nm) for diameters of 12.7mm ... 50.8mm

 

表面质量

Material

ISO 10110 (25mm)

Approximately equivalent to MIL-O-13830

Fused Silica

5/1x 0.010 L1x 0.0005

Scratch - Dig 5 - 1

CaF2

5/1x 0.016 L1x 0.0010

Scratch - Dig 10 - 2

 

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