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极紫外 (EUV) 球面反射镜

极紫外 (EUV) 球面反射镜

  • 产品型号:
  • 更新时间:2023-12-20
  • 产品介绍:极紫外 (EUV) 球面反射镜具有多层钼/硅镀膜,在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它们专为 5o 入射角设计,并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3Å RMS,可大程度地降低散射。这对 EUV 波长*,因为 EUV 波长的散射比长波长更多. EUV 球面反射镜的通带非常窄,约为 0.5nm,确保只会在高谐波生成 (HHG) 应用中反射 13.5nm 的关注谐波。
  • 厂商性质:代理商
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产品介绍

价格区间面议组件类别光学元件
应用领域电子,航天,综合

极紫外 (EUV) 球面反射镜

超抛光基片上的/硅多层镀膜

13.5nm 下可实现的大反射

设计用于 EUV 光束聚焦应用

适用于 HHG 应用的窄通带

极紫外 (EUV) 球面反射镜 具有多层钼/硅镀膜,在 13.5nm 下的反射率大于 60%。它们专为 5o 入射角设计,并用于聚焦非偏振 EUV 激光源。表面粗糙度小于 3 RMS,可大程度地降低散射。这对 EUV 波长*,因为 EUV 波长的散射比长波长更多. EUV 球面反射镜的通带非常窄,约为 0.5nm,确保只会在高谐波生成 (HHG) 应用中反射 13.5nm 的关注谐波。EUV  球面反射镜的典型应用包括相干衍射成像 (CDI)、EUV 成像和 EUV 纳米加工.

注意:
每个反射镜均附运行样本的测试数据.

极紫外 (EUV) 球面反射镜产品信息

DWL (nm)Dia. (mm)EFL (mm)涂层涂层规格产品编码
13.525.40250.00Mo/Si Multilayer
Layer: Silicon
Rabs>60% @ 13.5nm#11-730

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